3D光学形貌测量仪OPT700
3D光学形貌测量仪利用白光干涉原理,实现从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量,具有纳米级的测量精度。这些技术在现代工业中具有显著的优势,如非接触式测量、高精度、快速测量等,能够满足各种复杂测量需求,广泛应用于自动化生产、质量控制、机器人视觉、反求工程、CAD/CAM以及生物医学工程等领域。
1. 材料科学:在材料科学领域,3D光学形貌测量用于分析金属、陶瓷、塑料等材料的微观结构和缺陷。例如, 白光干涉仪 和 共聚焦显微镜 结合使用,可以测量芯片硅片超光滑表面、光学镜片曲率等。
2. 半导体行业:在半导体行业,3D光学形貌测量用于检测晶圆表面的平整度、污染和缺陷。这种测量技术能够确保芯片制造过程中的高精度要求,避免因表面缺陷导致的性能问题。
3. 生物医学工程:在生物医学工程领域,3D光学形貌测量用于观察细胞、组织和生物材料的表面结构。这种非接触式测量方法不会对样本造成损害,适用于对生物样本的精细分析。
4. 3C电子:在3C电子行业,3D光学形貌测量应用于镜头、MEMS传感器、折叠屏铰链等的检测。这种技术能够提供高精度的测量结果,确保电子产品的质量和性能。
5. 航空航天:在航空航天领域,3D光学形貌测量用于发动机叶片缺陷检测,能够定位0.1μm级裂纹,确保航空发动机的安全和性能。
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